光刻机巨头ASML连续参展进博会
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支持中国集成电路增长需求。

吕栋

■“进博会持续展现了中国继续扩大开放和推动创新的决心。”

11月7日，荷兰光刻机巨头ASML在第五届进博会上表示，ASML抱着开放合作的态度多次参与进博会，今年是该公司第四次参加进博会（2020年以来连续第三次）。

“我们认同进博会为展商所提供的展示公司形象和增进交流的平台。通过连续多年的参展，我们感受到公众对ASML的了解更客观、更全面，尤其是在2021年设立集成电路专区后，我们和目标受众的交流更集中高效。”ASML方面表示。

由于光刻机的体型过大，ASML虽多次参展，但并未带过真实的光刻机到进博会现场。今年该公司通过元宇宙视角展现其“铁三角”业务，包括配备先进工艺控制能力的光刻机台、计算光刻、光学及电子束量测，观众可以“亲身”进入无尘室，近距离接触光刻机。

“我们期待在今年能与更多中外伙伴在不同领域进行创新和技术的交流，携手为促进共同发展提供不竭动力。我们也希望能够借助进博会的平台，进一步展示ASML全方位光刻解决方案和服务，深化与本土客户的合作，与半导体产业链共同成长。”ASML方面称。

不久前的二十大报告指出，要加快构建新发展格局，着力推动高质量发展。当被问及准备如何参与到这一进程中时，ASML向观察者网表示，该公司支持中国集成电路行业的增长需求，为客户提供全方位光刻解决方案，其中包括光刻机台、计算光刻、光学与电子束量测，从而帮助客户提高效率并降低成本。

“中国市场在推动全球半导体产业发展上具有十分重要的作用。ASML通过支持中国客户需求，促进全球半导体产业的开放与合作，有利于增进人类福祉。”

据ASML透露，目前该公司在中国的本地团队能够解决超过95%的客户问题。在华DUV（深紫外光刻机）安装、升级、迁移服务已实现完全本土化。同时该公司正在组建虚拟技术专家团队，旨在以创新方式（ARES、HoloLens等）远程解决各种复杂问题。

今年6月，ASML曾指出，中国市场的重要性和中国经济持续向好的趋势没有变化，该公司将继续深耕中国市场、履行中国承诺。同时，为了支持中国业务的增长，该公司今年将持续扩大中国团队，计划招聘200余名员工。

彼时ASML透露，该公司在中国的业务布局包括14个办公室，11个仓储物流中心，2处研发中心，1个培训中心和1个维修中心，拥有1400多名员工。而本次该公司数据显示，ASML在中国设有15个办事处、11个仓储物流中心、3个开发中心，1个培训中心以及1个维修中心，员工人数超过1500人。

ASML中国区总裁沈波在本届进博会上接受媒体采访时表示，中国已是全世界最大的成熟制程市场，在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓“不确定性中的确定性”。

“在这种确定的情况下，中国该怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的。中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，而终端市场、应用市场反过来可推动上游设计、制造方面发展创新。”他说道。

实际上，在本届进博会上展示光刻技术的不止ASML一家，包括尼康、佳能等日本厂商也展示了光刻机、FPD曝光机和蒸镀机等光学半导体产业设备的应用。

不过，高端光刻机市场仍是ASML一家独大。第三方数据显示，2021年ASML共出货高端光刻机（EUV、ArFi、ArF）145台，占据95.4%的全球市场份额，EUV市场占有率达到100%。

另外，包括泛林、科天、高通、三星、AMD、德州仪器、瑞萨等全球知名半导体厂商也纷纷亮相，部分公司更是连续多届参展。正如中方所说，进博会已经成为中国构建新发展格局的窗口、推动高水平开放的平台、全球共享的国际公共产品。■